Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 421376 621.382(075)/К93 Автор(ы) : Курносов, Анатолий Иванович, Юдин В. В. Заглавие : Технология производства полупроводниковых приборов : учеб. пособие для вузов, обучающихся по специальности "Полупроводники и диэлектрики" Выходные данные : Москва: Высш. шк., 1974 Колич.характеристики :400 с.: ил. Примечания : Библиогр. ISBN (в пер.), Цена [Б. и.]: 15.00 р. УДК : 621.382.002(075.8) Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые приборы--полупроводниковые материалы--фотолитография--сплавление--диффузия--эпитаксия--элионика--конденсация в вакууме--поверхность п-п переходов--интегральные схемы Экземпляры : всего 1: ОХФ(2) Свободны : ОХФ(2) Доп. точки доступа: Юдин, В. В.