Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 620.3(075.8)/М 545 Автор(ы) : Биленко, Давид Исаакович, Вениг, Сергей Борисович, Терин, Денис Владимирович, Белобровая, Ольга Яковлевна Заглавие : Методы и средства контроля процессов и структур in situ: учебное пособие для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по направлениям "Физика и астрономия", "Информатика и вычислительная техника", "Электроника, радиотехника и системы связи", "Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии", "Технологии материалов", "Управление в технических системах" : в 2 ч./ Сарат. нац. исслед. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского. Ч. 2 Выходные данные : Саратов: Издательство Саратовского университета, 2016 Колич.характеристики :114, [2] с.: рис. Коллективы : Сарат. нац. исслед. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского Серия: Материаловедение и технология новых материалов/ гл. ред. С. Б. Вениг Примечания : Библиогр. в конце разд. ISBN, Цена 978-5-292-04393-5: 324.31, 324.32, р. УДК : 620.3(075.8) Предметные рубрики: техника-- материаловедение Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноструктуры--in situ--многопараметровые измерения--спектральная эллипсометрия--спектрофотометрия--массоперенос--рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия--материаловедение--нанотехнологии--обработка данных--контроль Экземпляры : всего : ОХФ(3), ОУОЕН(35) Свободны : ОХФ(3), ОУОЕН(35) Доп. точки доступа: Биленко, Давид Исаакович Вениг, Сергей Борисович Терин, Денис Владимирович Белобровая, Ольга Яковлевна Биленко, Давид Исаакович Вениг, Сергей Борисович