Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 537.527/С 130 Автор(ы) : Савинов, Владимир Павлович Заглавие : Физика высокочастотного емкостного разряда Выходные данные : Москва: ФИЗМАТЛИТ, 2013 Колич.характеристики :307, [1] с.: ил., табл. Разночтения заглавия :Загл., сост. каталогизатором: Физика высокочастотного ёмкостного разряда Примечания : Библиогр.: с. 297-307 (296 назв.) ISBN (в пер.), Цена 978-5-9221-1551-3: 390.00 р. УДК : 537.527 Предметные рубрики: физика-- электромагнетизм Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): высокочастотные емкостные разряды--граничные эффекты--приэлектродные слои--газоразрядная плазма--электронные пучки Экземпляры :ОХФ(1) Свободны : ОХФ(1)