Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.3.029.4.049.7/Р 344-748265 Автор(ы) : Резнев А. А., Вернер В. Д. Заглавие : Тенденции развития МЭМС Выходные данные : Москва: Амиант, 2010 Колич.характеристики :272, [2] с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 268-269 (34 назв.) ISBN (в пер.), Цена 978-5-4231-0042-1: 687.00 р. УДК : 621.3.029.4.049.76 Предметные рубрики: электротехника-- электротехника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектромеханические системы (мэмс)--микросистемы--микросистемная техника--автоматизированное проектирование Экземпляры :ОХФ(1) Свободны : ОХФ(1) Доп. точки доступа: Вернер, В. Д.