Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 890471 539.211/К63 Автор(ы) : Комаров, Фадей Фадеевич, Новиков А. П., Буренков А. Ф. Заглавие : Ионная имплантация Выходные данные : Минск: Унiверсiтэцкае, 1994 Колич.характеристики :303 с.: ил. Примечания : Библиогр. ISBN, Цена 985-09-0036-9: 3000.00 р. УДК : 539.21:539.1.04 Предметные рубрики: физика-- строение материи Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ионная имплантация --твердые тела--легирование ионов--полупроводники--ионно-лучевая обработка материалов Экземпляры : всего : ОХФ(2) Свободны : ОХФ(2) Доп. точки доступа: Новиков, А. П. Буренков, А. Ф.