A984172-ОХФ-ЧЗ-4
    Гаврилов, Сергей Александрович.
    Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники [Текст] : учеб. пособие / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов. - Москва : Высш. образование, 2009. - 257, [17] с. : рис. - (Основы наук). - Библиогр.: с. 256-257 (26 назв.). - ISBN 978-5-9692-0304-4 (в пер.) : 239.00 р.
Рекомендовано Учеб.-метод. объединением вузов РФ по образованию в обл. радиотехники, электроники, биомед. техники и автоматизации в качестве учеб. пособия для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" и по специальностям 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210100 (550700) "Электроника и микроэлектроника (бакалавр)"
УДК

Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
наноструктуры -- наноэлектроника -- микроэлектроника -- электрохимические процессы -- электродные процессы -- катодное осаждение -- анодные оксидные пленки


Доп. точки доступа:
Белов, Алексей Николаевич
Экземпляры всего: 1
ОХФ-ЧЗ-4 (1)