A982546-ОХФ, A983066-ОХФ, A983067-ОХФ Яфаров, Равиль Кяшшафович. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий [Текст] / Р. К. Яфаров. - Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2009. - 216 с. - Библиогр.: с. 205-216 (218 назв.). - ISBN 978-5-9221-1150-8 (в пер.) : 180.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--электронные приборы физика--физика плазмы Кл.слова (ненормированные): плазменные устройства -- нанотехнологии -- СВЧ-плазма -- микроволновые устройства -- плазмотроны -- плазмохимическое травление -- кремниевые структуры -- плазмохимический синтез Экземпляры всего: 3 ОХФ (3) |