A980053-ОХФ Методы нанолитографии. Достижения и перспективы [Текст] / Г. С. Константинова [и др.] ; науч. ред. В. Н. Лозовский. - Ростов-на-Дону : ТЕРРА-ПРИНТ, 2008. - 112 с. : рис. - Библиогр.: с. 110-111 (52 назв.). - Предм. указ.: с. 109. - ISBN 978-5-903286-20-1 : 90.00 р. На обл. авт.: Константинова Г. С. и др.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): нанотехнологии -- наноэлектроника -- литография -- нанолитография -- интегральные микросхемы -- нанометровый диапазон -- импринт-литография -- зондовая нанолитография Доп. точки доступа: Константинова, Галина Серафимовна Лозовский, В. Н. Лунин, Л. С. Лозовский, С. В. Лозовский, В. Н. Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |