A874806-ОХФ Практикум по волновой электронике и микроэлектронике [Текст] : практикум. - Саратов : Издательство Саратовского университета. Ч. 3 : Технология микроэлектроники. - 2000. - 59, [5] с. - ISBN 5-292-02569-0 : 15.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- технология -- травление вакуумно-плазменное -- пленки -- интегральные схемы -- катодного распыления методы Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |