A874806-ОХФ
    Практикум по волновой электронике и микроэлектронике [Текст] : практикум. - Саратов : Издательство Саратовского университета.
   Ч. 3 : Технология микроэлектроники. - 2000. - 59, [5] с. - ISBN 5-292-02569-0 : 15.00 р.
УДК

Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- технология -- травление вакуумно-плазменное -- пленки -- интегральные схемы -- катодного распыления методы
Экземпляры всего: 1
ОХФ (1)