Учебная литература, A996093-ОХФ, A996094-ОХФ, Кирееев, Валерий Юрьевич. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование [Текст] : учебно-справочное руководство / В. Ю. Кирееев. - Долгопрудный : Издательский дом "Интеллект", 2016. - 319, [1] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 314-319 (111 назв.). - ISBN 978-5-91559-215-4 (в пер.) : 1331.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- нанотехнологии -- нанолитография -- интегральные микросхемы -- фотолитография -- наноимпринтная литография -- электронная литография Экземпляры всего: 5 ОХФ (2), ОУОЕН (3) |