Учебная литература, A992741-ОХФ, A992742-ОХФ, A992743-ОХФ-ЧЗ-4, Методы и средства контроля процессов и структур in situ [Текст] : учебное пособие для студентов, магистрантов и аспирантов направлений "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Биотехнические системы и технологии" : в 2 ч. / Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского. - Саратов : Издательство Саратовского университета, 2014 - 2016. - (Материаловедение и технология новых материалов). Ч. 1 / Д. И. Биленко [и др.] ; под общ. ред. Д. И. Биленко и С. Б. Венига. - Саратов : Издательство Саратовского университета, 2014. - 199, [1] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 187 (5 назв.). - ISBN 978-5-292-04289-1 (ч. 1) : 404.03 р., 404.02 р., 403.02 р.
Рубрики: техника--материаловедение Кл.слова (ненормированные): технологические процессы (ТП) -- сканирующая туннельная технология -- in situ -- методология технологии -- температура объектов -- газовые потоки -- наноструктуры -- пленки -- сверхрешетки -- прогнозирование -- микротехнология -- нанотехнологии -- материаловедение Доп. точки доступа: Биленко, Давид Исаакович Белобровая, Ольга Яковлевна Вениг, Сергей Борисович Галушка, В. В. Биленко, Давид Исаакович Вениг, Сергей Борисович Экземпляры всего: 38 ОХФ (2), ОХФ-ЧЗ-4 (1), ОУОЕН (35) |