Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Биленко, Давид Исакович (канд. физ.-мат. наук, профессор) Заглавие : Создание наностуктур электрохимическим травлением кремния с последующим насыщением. Место публикации : Нанотехнология. Наука и производство,. - 2011. - Т. 2, № 11. - С. 14-15 Предметные рубрики: Электрохимия