Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Александров, Владимир Алексеевич, Кирясов А. Г., Кирясова, Ольга Александровна, Сердобинцев, Алексей Александрович Заглавие : Автоматизированная установка для синтеза тонкопленочных структур с наноразмерными слоями Место публикации : Пятый саратовский салон изобретений, инноваций и инвестиций. - Саратов: СГТУ, 2010. - Ч. 2. - С. 3-4. - ISBN 978-5-7433-2238-1. - ISBN 978-5-7433-2238-1 Предметные рубрики: Автоматика. Кибернетика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Александров, Владимир Алексеевич Кирясов, А. Г. Кирясова, Ольга Александровна Сердобинцев, Алексей Александрович (канд. физ.-мат. наук, доцент)