Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Жбанов, Александр Игоревич (канд. физ.-мат. наук, доцент), Кошелев, Василий Сергеевич, Шевцов, Владимир Николаевич Заглавие : Температурные поля мишеней при напылении магнетронными распылительными системами Место публикации : Вопросы прикладной физики: межвузовский научный сборник/ редкол.: В. В. Кошелев (отв. ред.) [ и др.]. - Саратов: Издательство Саратовского университета, 2009. - Вып. 16. - С. 46-47. - ISBN 0868-6238. - ISBN 0868-6238 Примечания : Библиогр.: с. 47 (2 назв.). - Имеется электрон. версия сборника в целомURL: http://www.sgu.ru/sites/default/files/textdocsfiles/2013/11/29/16-ves.pdf (дата обращения: 06.04.2017) Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Кошелев, Василий Сергеевич (д-р техн. наук, профессор) Шевцов, Владимир Николаевич (канд. физ.-мат. наук, доцент)