Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Сердобинцев, Алексей Александрович (КАНД. ФИЗ.-МАТ. НАУК, ДОЦЕНТ) Заглавие : Получение тонких пленок кремния на гибких подложках методом магнетронного распыления Место публикации : Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика : тез. докл. V Всерос. конф. молодых ученых, 6-8 сент. 2010 г., Саратов, Россия. - Саратов: Изд-во Саратовского университета, 2010. - С. 98 - 99. - ISBN 2218-2985. - ISBN 2218-2985 Предметные рубрики: Физика Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): рта