Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Сердобинцев, Алексей Александрович (канд. физ.-мат. наук. доцент) Заглавие : Ионное физическое осаждение пленок оксида цинка и их свойства Место публикации : Нелинейный мир. - 2008. - Т. 6, № 4. - С. 269-270. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Предметные рубрики: физика Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нано-2009