Влияние потенциала смещения при СВЧ-обработке в плазме различных газов на морфологические и автоэмиссионные свойства пластин SI (100) P-типа [Текст] / В. Я. Шаныгин [и др.] // Нелинейный мир. - 2017. - Т. 15, № 2. - С. 32-33 . - ISSN 2070-0970 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич