Разработка подвижных балочных элементов мэмс-резонатора, формируемых в канавках кремниевых пластин [Текст] / П. Г. Бобовников [и др.] // Международный форум "Микроэлектроника-2016" : тезисы докладов 2-ой научной конференции форума (Алушта, Крым, 26-30 сентября 2016 г.). - Москва : Техносфера, 2016. - С. 476-479 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Бобовников, П. Г. Орлов, Сергей Николаевич Шульга, Ю. В. Буканов, А. Г. Тимошенков, В. П. Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)