Влияние предварительной и высокоэнергетичной ионно-лучевой обработок на автоэмиссионные свойства кристаллов кремния [Текст] / В. Я. Шаныгин [и др.] // Физические и физико-химические основы ионной имплантации : тезисы докладов VI Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов. - Нижний Новгород : Издательство Нижегородского университета, 2016. - С. 25-26. - Библиогр. в конце ст. - Имеется электрон. версия сборника в целом. - URL: https://kpfu.ru/staff_files/F2142500230/Tezisy_dokladov_FFHOII_2016.pdf (дата обращения: 17.04.2019) Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Суздальцев, Сергей Юрьевич Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Шалаев, Павел Данилович Shalayev, P. D. Яфаров, А. Р.