Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор).     Неравновесная СВЧ-плазма низкого давления в научных исследованиях и разработках микро- и наноэлектроники [Текст] / Р. К. Яфаров // Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика. - 2015. - Т. 15, вып. 2. - С. 18-31 : рис. - Библиогр.: с. 30-31 (46 назв.). - Имеется электрон. версия публикации. - URL: http://fizika.sgu.ru/sites/fizika.sgu.ru/files/18-31.pdf (дата обращения: 17.11.2016) . - ISSN 1814-733X. - ISSN 1817-3020 Рубрики: физика Кл.слова (ненормированные): СВЧ-плазма -- неравновесная СВЧ-плазма -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- низкоэнергетичная СВЧ-плазма -- вакуумно-плазменное оборудование -- ненотехнологии -- СВЧ плазмохимическое травление -- квантово-размерные системы