Особенности роста тонких пленок аморфного кремния, полученных методом магнетронного распыления [Текст] / В. А. Александров [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхронные и нейтронные исследования. - 2015. - № 6. - С. 31-34 . - ISSN 0207-3528 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Александров, Владимир Алексеевич Вениг, Сергей Борисович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Митин, Дмитрий Михайлович (инженер) Сердобинцев, Алексей Александрович (канд. физ.-мат наук, доцент) Скапцов, Александр Александрович (канд. физ.-мат. наук)