Сглаживание электрической и топологической неоднородностей интерфейсного полимерного покрытия полупроводниковой подложки оптическим облучением из области чувствительности полупроводника [Текст] / С. В. Стецюра [и др.] // Взаимодействие сверхвысокочастотного, терагерцового и оптического излучения с полупроводниковыми микро- и наноструктурами, метаматериалами и биообъектами : материалы Всероссийской научной школы-семинара / под ред. Д. А. Усанова. - Саратов : Саратовский источник, 2014. - С. 103-106 . - ISBN 978-5-91879-422-7 Рубрики: Физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Стецюра, Светлана Викторовна (канд. физ.-мат. наук, доцент) Маляр, Иван Владиславович (канд. техн. наук, доцент) Козловский, Александр Валерьевич (инженер) Буланов, Максим Сергеевич (аспирант)