Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант).     Исследование влияния СВЧ плазменной микрообработки на наноструктурирование углерода на кристаллах кремния (100) [Текст] / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров // Нелинейный мир. - 2013. - Т. 11, № 2. - С. 124-125 . - ISSN 2070-0970 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)