Сердобинцев, Алексей Александрович (канд. физ.-мат. наук, доцент). Особенности синтеза тонких пленок кремния методом магнетронного распыления на постоянном токе [Текст] / А. А. Сердобинцев> // Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика : тез. докл. VI Всероссийской конференции молодых ученых, 13-15 сент. 2011 г., г. Саратов. - Саратов : Издательство Саратовского университета, 2011. - С. 70-71 Рубрики: Физика |