Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : RU-LAN-BOOK-3554 Автор(ы) : Александров С. Е., Греков Ф. Ф. Заглавие : Технология полупроводниковых материалов : учебное пособие . -2-е изд., испр. Выходные данные : Санкт-Петербург: Лань, 2012 Колич.характеристики :240 с Примечания : Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки ISBN, Цена 978-5-8114-1290-7: Б.ц. УДК : 620.22:621.382(075.8) ББК : 31.233я73 Предметные рубрики: Инженерно-технические науки-- Электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): алюминий--бестигельная зонная плавка--бинарное соединение--бриджмена - стокбаргера метод--бриджмена-стокбаргера метод--вернейля метод--выращивание монокристаллов--выращивание полупроводниковых монокристаллов--галлий--германий--глубокая--глубокая очистка веществ--глубокая очистка исходных веществ--индий--кирополуса метод--киропулоса метод--компонент--компонент летучий--компонент нелетучий--кремний--летучий--механизм автокапиллярный--микроэлектронные схемы интегральные - производство--монокристалл--монокристаллы--мышьяк--нономатериалы--очистка--очистка полупроводниковых материалов--полупроводник--полупроводниковое соединение--полупроводниковые материалы--полупроводниковые материалы - физико-химические свойства--полупроводниковые материалы полупроводники--примесь--расплав--синтез--синтез полупроводниковых соединений--синтез метастабильный--система нитридная--строение кристаллическое--технология--технология монокристаллов--технология полупроводников--учебник и пособие--учебные пособия--фаза метастабильная--формообразование--фосфор--чохральского--чохральского метод--электроника--электротехника Аннотация: Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов. Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальные схемы производства с учетом требований к качеству продукции. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе «Современные проблемы материаловедения» направления подготовки магистров «Материаловедение и технология материалов». Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования. Доп. точки доступа: Греков, Ф. Ф.