Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 62/С 50 Автор(ы) : Смирнов С. В., Заглавие : Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : Учебное пособие/ С. В. Смирнов Выходные данные : Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010 Колич.характеристики :115 с. Примечания : Книга находится в премиум-версии ЭБС IPR BOOKS. ISBN, Цена 2227-8397: Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): технологический процесс--наногетероструктура--интегральная схема--учебное пособие Аннотация: Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».