Новые поступления (книга в стадии обработки) Ворзобова, Н. Д. Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем [Электронный ресурс] : Учебное пособие / Н. Д. Ворзобова, И. Ю. Денисюк. - Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем, 2022-10-01. - Санкт-Петербург : Университет ИТМО, 2008. - 77 с. - ISBN 2227-8397 : Б. ц. Книга находится в премиум-версии ЭБС IPR BOOKS.
Кл.слова (ненормированные): фотоника -- оптика -- физика -- микроструктура -- литография -- голография Аннотация: В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем, основанные на методах оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и нано-размеров. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика», а также студентов других оптических и информационных специальностей Доп. точки доступа: Денисюк, И. Ю. |