Основы технологии материалов микроэлектроники. Учебно-методическое пособие
Об издании
В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направлений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 – «Нанотехнология» специальностей: 210104 – «Микроэлектроника и твердотельная электроника, 210108 – «Микросистемная техника».
Библиографическая запись
Каменская, А. В. Основы технологии материалов микроэлектроники : учебно-методическое пособие / А. В. Каменская. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2010. — 96 c. — ISBN 978-5-7782-1420-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45129.html (дата обращения: 19.07.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
Дополнительно:
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Балыклова К.С., Власов А.М., Гегечкори В.И., Горпинченко Н.В., Карташов В.С., Касумова К.В., Кокорекин В.А., Кузина В.Н., Медведев Ю.В., Передеряев О.И., Печенников В.М., Прокофьева В.И., Раменская Г...
(Лаборатория знаний)
Грекул В.И., Коровкина Н.Л., Богословцев Д.А., Синайская Н.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецов А.А., Измалков А.В., Кузнецов П.А., Кузьменко Э.Ю., Набоков Л.В.
(Липецкий государственный технический университет, Профобразование)
Малыш М.Н., Ткаченко В.А.
(Проспект Науки)
Гамов Е.С., Кукушкина В.А., Чернышова М.И., Хечиашвили И.Т.
(Липецкий государственный технический университет, Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Балабанов П.В., Дивин А.Г., Любимова Д.А.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Горфинкель В.Я., Антонова О.В., Базилевич А.И., Блинов А.О., Бобков Л.В., Бурмистрова Л.М., Васильева И.Н., Вахрушина М.А., Вдовенко Л.А., Калашникова И.А., Максимцов М.М., Маслова В.М., Мостова В.Д....
(ЮНИТИ-ДАНА)
Бодров А., Барт К., Смыцнюк П., Чапнин С., Кнорре Б., Куманьков А., Зыгмонт А., Говорун К., Бонхеффер Д., Вселенский патриарх Варфоломей, Хукема Д., Клапсис Э., Мольтман Ю., Жирар Р., Кирван М., Папа...
(Библейско-богословский институт св. апостола Андрея)
Буханцова А.В.
(Новосибирский государственный технический университет)
Жуковский В.А.
(Издательский Дом ЯСК)
Реджина Лидс
(Альпина Паблишер)
Александрович Л.П., Гаврилова (Павлова) Н.В., Колесов М.А., Нележко А.С., Мосякова О.В., Моргунова Т.А., Плешаков С.А.
(Научная книга)
Гоголев Л.А., Еремеева Е.А., Караваева В.В., Получинина Н.Н., Родионова Г.Н., Романова Е.А., Спешилова М.П., Сурменев А.Е....
(Научная книга)